本月初,有媒体报道,美国MOCVD(金属有机化合物气相沉积设备)设备厂Veeco宣布,美国纽约东区地方法院同意了其针对SGL Carbon,LLC(SGL)的一项初步禁令请求,禁止SGL出售采用Veeco专利技术的MOCVD使用的晶圆承载器(即石墨盘),包括专为中国MOCVD设备商中微半导体设计的石墨盘。
对此,中微半导体表示将在三个方面推动解决上述问题:
一是积极发展第二和第三渠道的供应商,预计一个月即可完成产品验证,两三个月即可解决批量问题,春节前即可恢复对客户的石墨盘供应;二是SGL已在美国提起反诉,预计很快将取得进展;三是针对专利方面,公司已在中国对Veeco提起专利侵权诉讼。
国家知识产权局专利复审委于24日作出审查决定,否决了维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司(简称“Veeco上海”)关于中微半导体专利无效的申请,确认中微半导体起诉Veeco上海专利侵权的涉案专利为有效专利。
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