高纯气体管道的设计应当有GC2级压力管道设计资质单位完成，安装由GC2级压力管道安装资质单位完成。

（1）下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁∶

1）甲类火灾危险生产的气体入口室。

2）管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体管道的易积聚处。

3）洁净室内使用可燃气体处。

（2）可燃气体管道应设下列安全技术措施∶

1）接至用气设备的支管和放散管，应设置阻火器。

2）引至室外的放散管，应设防雷保护设施。

3）应设导除静电的接地设施。

（3）氧气管道应设下列安全技术措施∶

1）管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。

2）应设导除静电的接地设施。

（4）气体管道应按不同介质设明显的标识。

（5）各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1 瓶时，气瓶可设置在洁净室内，但必须采取不积尘和易于清洁的措施。