今天，北京华卓精科科技股份有限公司(以下简称“华卓精科“)于科创板成功过会。华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。

光刻机工件台是光刻机的3大核心部件之一，华卓精科是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。目前，华卓精科的DWS系列双工件台可用于65nm及以上节点的I-line、KrF和ArF干式光刻机，但尚未通过上海微电子的验收。

今年7月29日，华卓精科的上市委会议结果为暂缓审议，上市委现场询问了有关其光刻机双工件台的产业化前景、其技术研发是否依赖清华大学、以及2019年和2020年第四季度的大额销售收入等事项。

报告期内，华卓精科营收呈递增趋势，2018年、2019年、2020年其营收分别为8570万元、1.21亿元和1.52亿元。

本轮IPO，华卓精科计划募资7.35亿元，将用于半导体装备关键零部件研发制造、超精密测控产品长三角创新与研发中心、集成电路装备与零部件产品创新项目、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发4个项目。